众所周知，目前全球只有ASML一家能够制造EUV光刻机，像尼康、佳能等巨头，还停留在DUV光刻机上。
更有意思的是，尼康、佳能现在基本上不再研究EUV光刻机，像佳能开始转方向，转向NIL纳米压印技术上去了，想要换条道。
(资料图片仅供参考)
此外，其它对光刻机有野心的厂商，基本上也没怎么去研发EUV光刻机，转向去研究BEL电子束技术、X射线光线、DSA自组装等技术去了。
那么这是为什么呢？大家都不和ASML一样，从DUV到EUV光刻机，按照这样的成功的方向走呢？其实原因非常简单，那就是ASML在研发出EUV光刻机后，其实已经将这条路堵上了，其它人要打通这条路，基本上无望。
一台EUV光刻机，按照ASML的说法，至少有超过45万个零件，其中15％是ASML自研的，另外的85％是采购的，ASML是融合全球的供应链，然后再组装出来。
EUV光刻机中，最核心的是光源、物镜系统、工作台。其中光源部分，ASML收购了美国企业Cymer，再与德国TRUMPF公司，自己研发出来的。除了这三大厂商外，目前全球没有一家厂商，能够搞定这套光源系统。
而物镜系统就更难了，全球只有蔡司有这种光学技术，而蔡司与ASML捆绑，只对ASML供货，因为这项技术是双方共研的。
所以如果其它厂商，要造出EUV光刻机，就要找到可以媲美蔡司的光学厂商，还要找到能够制造紫外线光源的厂商，这两项都是难上加难，可以说基本上没什么希望。
而EUV光刻机市场，并不是那么大，因为它已经不是简单的几个企业就能玩的转的，需要一整个利益链条，已经不是“商业逻辑”可以覆盖的。
可以说，整个EUV光刻机体系，也基本只能供得起一家ASML，而ASML不仅将下游客户捆绑上了，还已经把全球能够制造出来核心零件的厂商，与自己捆绑上了，聪明的搞“客户联合方案”，把其它厂商研发EUV的路就堵住了。
所以就算其它光刻要厂商，有这个想法，也能能换条道，换成NIL技术、DSA技术，或BEL电子束技术，不去碰EUV技术，因为EUV这条路，碰不得，走不通。
原文标题 : 为什么全球只有ASML能制造EUV光刻机？因为它把路堵了
